不论是研制出高可靠性高导热基板还是“养出”“最难晶体”弛豫铁电单晶,不论是从事陶瓷专业还是“跨界”到人工晶体,从事材料领域研究十余载,郑彧与材料之间,互相突破,彼此成就。她笑言:“这一路,无数个白天黑夜,不是在研制材料的实验室里,就是在破解材料密码的路上,一路走来,发现不同的材料,破解‘卡脖子’难题,是她的成‘材’之路,亦是成长之路。”
一股牛劲 攻克材料“升级”难关
“小孩子才做选择题,在半导体器件的研究上,我要做到既要又要。”在一个阳光满屋的上午,郑彧坐在办公室讲起她和材料的故事。
“很多人都知道芯片的重要性,其实,封装中高导热陶瓷绝缘基板是半导体封装中仅次于芯片的核心元件。”郑彧介绍,近年来,半导体行业备受国民关注,其应用范围涉及高铁、电动汽车等,北京作为全国科技创新高地,围绕第三代半导体上下游进行了全产业链战略布局,事实上影响大功率半导体器件封装寿命的关键是散热,如何在保持材料很好的力学性能下,进一步提高材料的散热功能,保证材料的高导热率,一时成了亟待解决的问题。
作为陶瓷技术专业的博士,郑彧毅然承担起这个“既要又要”的任务。从2016年开始,郑彧带领团队开始进行研发。目标明确,接下来是怎么做的问题,郑彧和团队“摸着石头过河”,在成百上千次的实验中寻找答案,穿着防护服,在万级超净间一待就是一整天。同步要解决的还有材料如何成型的问题,基板约0.3毫米左右的厚度,如何在压制过程中不弯、不变形?一个个难题萦绕在郑彧的脑中。“那段时间,不是在研究室,就是在去研究室的路上。”郑彧回忆。
功夫不负有心人,经过成百上千次的实验,郑彧发现需要改进“配方”才能使材料达到理想状态,为此她和团队研制出了流延配方,导热率也从20-80W/mK提升到80-120W/mK,使材料具有优异的机械强度和化学稳定性。
最终,郑彧带领团队成员突破了高可靠性高导热氮化硅陶瓷材料研制、氮化物可控流延成型、基板覆铜板制备等一系列关键技术,并于2018年在国内率先建成年产万片氮化硅基板工程化示范线,基板产品各项性能经第三方机构及用户测评,与国际商用产品相当,目前该成果已扩产为年产70万片规模生产线,助力我国半导体行业关键核心材料自主可控。
跨专业 在60℃实验室生长出“最难晶体”
“我能行吗?这太难了。”2021年,学陶瓷专业出身的郑彧,得知要从事“最难晶体”——PIMNT弛豫铁电单晶的研究时,内心很是忐忑,“陶瓷和人工晶体是两个学科,刚开始时,完全没有把握。”
PIMNT弛豫铁电单晶在高清医用B超、海洋声呐领域具有重要应用价值,在半导体加工用压电位移计等场景亦有重大应用前景。当前国内对弛豫铁电单晶需求迫切,但处于完全依赖美国进口的“卡脖子”局面。国内在晶体的均匀性、晶体的低成本工程化生产、高质量压电元件加工制备及应用方面与国际存在巨大差距。此外由于该晶体组分复杂,制作工序近百道,被业内誉为最难生长的晶体之一。
晶体及元件制作总计至少需要82道工序。由于人工晶体领域的特殊性,铂金坩埚的设计、制作、晶体生长炉及温场设计、原料合成、材料应用都没有现成的成熟解决方案。郑彧和团队所面临的局面,可谓难关重重,一个难题解决不了,整个项目就面临失败风险。
“在晶体生长过程中,常常要在60℃高温炙烤的晶体生长实验室里完成装炉、数据记录等工作。”郑彧介绍,“晶体生长温度达到1400℃以上,厚度只有0.7mm的铂金坩埚要承受密度达到8.1g/cm3高温熔体持续超过30天,这已经接近铂金的使用极限。在项目研制初期,铂金坩埚的焊缝处特别容易成为薄弱环节,从而造成严重漏料导致晶体生长失败。”面对一次次失败,郑彧带领团队没有气馁,创新性地提出了铂金坩埚采用旋压成型代替传统焊接成型的新思路,并积极与晶体院有经验的老专家、老师傅进行反复沟通学习,最终在国内率先研发了铂金坩埚的无缝旋压成型技术,攻克了难关。
如今,郑彧和团队不仅自主开发了PIMNT坩埚下降晶体生长炉,还在朝阳区建立了国内规模最大的PIMNT弛豫铁电单晶工程化示范线,解决了高纯钙钛矿相PIMNT晶体原料稳定批量化合成,国内首次实现了铂金坩埚无缝旋压成型新工艺,提出了陶瓷块体原料填装生长PIMNT晶体的新技术路线,通过合理使用相变材料实现了生长室环境无扰动控制,实现了方向高质量PIMNT单晶性高效生长技术,晶体性能及均匀性达到国际先进水平,形成原料、生长、加工全链条生产能力。
“人工晶体和陶瓷,虽然是两个不同的学科,但是它们的底层逻辑是相通的。项目最终能成功,借鉴了一些陶瓷实践形成的经验,同时也帮助我运用多角度思考问题,或许这就是‘跨界’的魅力吧。”郑彧笑言。
化繁为简 把科学讲给更多人听
郑彧深知,科学知识的普及对于培养下一代科技人才至关重要。她不仅在科研领域取得了卓越成就,更在科普传播上做出了突出贡献。
在环球网中建材材料江湖科普直播活动中,郑彧以她深厚的专业知识和亲和力,将复杂的科学知识转化为公众易于理解的语言,通过生动的比喻和形象的描述,让观众们对材料科学产生了浓厚的兴趣。她讲述的每一个科学故事都充满了趣味和启发性,让科学不再是高高在上的象牙塔,而是触手可及,与生活息息相关的有趣知识。
在云南昭通的对口援建小学,郑彧作为科技工作者代表,和同事们一起参与了科普课堂的讲授。她们用简单易懂的语言,向孩子们介绍了晶体材料的奇妙世界,激发了学生对科学的好奇心和探索欲。学生们聚精会神地听着,眼中闪烁着对知识的渴望和对未来的憧憬。
“一个小小的材料,就能发挥大大的作用,这太神奇了。”从业十余载,郑彧对材料学的研究热情不减,在她看来,在材料、在晶体的世界里,充满魅力,吸引她沉下心来,不断探索、钻研,去揭秘一个又一个奥秘。她的热爱和专业也激励着她的团队在科研道路上不断前行。
(赵慧慧)